|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
305477 |
| 005 |
20231102001814.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 83-54701
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\330748
|
| 090 |
|
|
|a 305477
|
| 100 |
|
|
|a 20150928d1983 km y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Эллипсометрия в микроэлектронике
|f Р. Р. Резвый
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1983
|
| 215 |
|
|
|a 120 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 118-120
|
| 606 |
1 |
|
|a Эллипсометрия (в микроэлектронике)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\21158
|9 46193
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a физические принципы
|
| 610 |
1 |
|
|a математическая обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a эллипсометрическое измерения
|
| 610 |
1 |
|
|a эллипсометры
|
| 610 |
1 |
|
|a пластины
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a подготовка
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые слои
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|z rus
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Резвый
|b Р. Р.
|g Ростислав Ростиславович
|4 070
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150928
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190911
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
