Эллипсометрия в микроэлектронике
| 1. autor: | |
|---|---|
| Język: | rosyjski |
| Wydane: |
Москва, Радио и связь, 1983
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Format: | Książka |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=305477 |
| Opis fizyczny: | 120 с. ил. |
|---|