Эллипсометрия в микроэлектронике
| Prif Awdur: | |
|---|---|
| Iaith: | Rwseg |
| Cyhoeddwyd: |
Москва, Радио и связь, 1983
|
| Pynciau: | |
| Fformat: | Llyfr |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=305477 |
| Disgrifiad Corfforoll: | 120 с. ил. |
|---|