|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
305161 |
| 005 |
20231102001755.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\330427
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\315689
|
| 090 |
|
|
|a 305161
|
| 100 |
|
|
|a 20150924d1981 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физика микроэлектронных приборов
|e сборник научных трудов
|f Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ) ; под ред. Т. Д. Шермергора
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во МИЭТ
|d 1981
|
| 215 |
|
|
|a 96 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|x Физические основы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43816
|9 63258
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные схемы интегральные
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a оптические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a пьезоэлектрические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a электрические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a механические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные приборы
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77:53
|z rus
|v 4
|
| 702 |
|
1 |
|a Шермергор
|b Т. Д.
|g Тимофей Дмитриевич
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
|c (1965-1992)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19357
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150227
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20171006
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
