|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
304444 |
| 005 |
20231102001712.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\329691
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\329684
|
| 090 |
|
|
|a 304444
|
| 100 |
|
|
|a 20150914d1979 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физические основы микроэлектроники
|e сборник научных трудов
|f Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ) ; научн. ред. Т. Д. Шермергор
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во МИЭТ
|d 1979
|
| 215 |
|
|
|a 159 с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|x Физические основы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43816
|9 63258
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрики
|
| 610 |
1 |
|
|a композиционные материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a теплоемкость
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменные модели
|
| 610 |
1 |
|
|a упругие волны
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрическая прочность
|
| 610 |
1 |
|
|a напыление
|
| 610 |
1 |
|
|a программирование
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические факторы
|
| 610 |
1 |
|
|a фотопроводимость
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные схемы
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77:53
|z rus
|v 4
|
| 702 |
|
1 |
|a Шермергор
|b Т. Д.
|g Тимофей Дмитриевич
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
|c (1965-1992)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19357
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 19950417
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140911
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20171004
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
