Физические основы микроэлектроники: сборник научных трудов

Бібліографічні деталі
Співавтор:	Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
Інші автори:	Шермергор Т. Д. Тимофей Дмитриевич (редактор)
Мова:	Російська
Опубліковано:	Москва, Изд-во МИЭТ, 1979
Предмети:	Микроэлектроника > Физические основы диэлектрики композиционные материалы теплоемкость плазменные модели упругие волны диэлектрическая прочность напыление программирование технологические факторы фотопроводимость интегральные схемы
Формат:	Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=304444

Опис
Фізичний опис:	159 с. ил.

Схожі ресурси