|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
303683 |
| 005 |
20231102001628.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\328910
|
| 090 |
|
|
|a 303683
|
| 100 |
|
|
|a 20150903d1973 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Основы пленочного полупроводникового материаловедения
|f Л. С. Палатник, В. К. Сорокин
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1973
|
| 215 |
|
|
|a 295 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 285-293.
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковая техника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50662
|9 69313
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a материаловедение
|
| 610 |
1 |
|
|a пленочные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллическая структура
|
| 610 |
1 |
|
|a испарение
|
| 610 |
1 |
|
|a химические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a адсорбция
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a рост
|
| 610 |
1 |
|
|a конденсация
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Палатник
|b Л. С.
|g Лев Самойлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Сорокин
|b В. К.
|g Вадим Константинович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150903
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20161124
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
