Статическое электричество в полупроводниковой промышленности

Bibliografski detalji
Glavni autor:	Каверзнев В. А. Владимир Александрович
Daljnji autori:	Зайцев А. А Анатолий Александрович, Овечкин Ю. А. Юрий Алексеевич
Jezik:	ruski
Izdano:	Москва, Энергия, 1975
Teme:	Полупроводники > Электрофизические свойства статическое электричество полупроводниковая техника электризация полупроводниковые изделия параметры характеристики электростатические измерения
Format:	Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=303451

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	303451
005	20231102001614.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\328674
090			\|a 303451
100			\|a 20150902d1973 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Статическое электричество в полупроводниковой промышленности \|f В. А. Каверзнев, А. А Зайцев, Ю. А. Овечкин
210			\|a Москва \|c Энергия \|d 1975
215			\|a 113 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 110-112.
606	1		\|a Полупроводники \|x Электрофизические свойства \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50621 \|9 69273
610	1		\|a статическое электричество
610	1		\|a полупроводниковая техника
610	1		\|a электризация
610	1		\|a полупроводниковые изделия
610	1		\|a параметры
610	1		\|a характеристики
610	1		\|a электростатические измерения
675			\|a 621.315.592:53 \|v 3
700		1	\|a Каверзнев \|b В. А. \|g Владимир Александрович
701		1	\|a Зайцев \|b А. А \|g Анатолий Александрович
701		1	\|a Овечкин \|b Ю. А. \|g Юрий Алексеевич
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20150902
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20150925 \|g RCR
942			\|c BK