|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
303373 |
| 005 |
20231102001609.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\328596
|
| 090 |
|
|
|a 303373
|
| 100 |
|
|
|a 20150902d1978 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Управление составом полупроводниковых слоев
|f В. Н. Романенко
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Металлургия
|d 1978
|
| 215 |
|
|
|a 192 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 185-190.
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводники слоистые
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50656
|9 69308
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые слои
|
| 610 |
1 |
|
|a состав
|
| 610 |
1 |
|
|a управление
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллизация
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузионные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a жидкостная эпитаксия
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Романенко
|b В. Н.
|g Владимир Николаевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150902
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150923
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|