MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 303373
005 20231102001609.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\328596 
090 |a 303373 
100 |a 20150902d1978 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Управление составом полупроводниковых слоев  |f В. Н. Романенко 
210 |a Москва  |c Металлургия  |d 1978 
215 |a 192 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 185-190. 
606 1 |a Полупроводники слоистые  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50656  |9 69308 
610 1 |a полупроводниковые слои 
610 1 |a состав 
610 1 |a управление 
610 1 |a кристаллизация 
610 1 |a диффузионные процессы 
610 1 |a жидкостная эпитаксия 
675 |a 621.315.592  |v 3 
700 1 |a Романенко  |b В. Н.  |g Владимир Николаевич 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20150902 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150923  |g RCR 
942 |c BK