Кинетика и механизм термического окисления кремния

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Анохин В. З. Валентин Захарович
منشور في:	Воронеж, Изд-во Воронежского ун-та, 1983
الموضوعات:	поверхность сорбционные явления оксидная фаза зарождение кинетика тепловой режим линейно-параболический рост электронные процессы
التنسيق:	كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=301507

مواد مشابهة