|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
301507 |
| 005 |
20231102001417.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 83-22331
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\326679
|
| 090 |
|
|
|a 301507
|
| 100 |
|
|
|a 20150731d1983 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Кинетика и механизм термического окисления кремния
|f В. З. Анохин
|
| 210 |
|
|
|a Воронеж
|c Изд-во Воронежского ун-та
|d 1983
|
| 215 |
|
|
|a 196 с.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 185-193
|
| 606 |
1 |
|
|a Кремний
|x Окисление
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\16164
|9 42333
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхность
|
| 610 |
1 |
|
|a сорбционные явления
|
| 610 |
1 |
|
|a оксидная фаза
|
| 610 |
1 |
|
|a зарождение
|
| 610 |
1 |
|
|a кинетика
|
| 610 |
1 |
|
|a тепловой режим
|
| 610 |
1 |
|
|a линейно-параболический рост
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные процессы
|
| 675 |
|
|
|a 546.28
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Анохин
|b В. З.
|g Валентин Захарович
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150731
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190301
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
