MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 301170
005 20231102001356.0
020 |a RU  |b 83-11663 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\326323 
090 |a 301170 
100 |a 20150724d1983 km y0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 001zy 
200 1 |a Механическая обработка полупроводниковых материалов  |f О. И. Бочкин, В. А. Брук, С. Н. Никифорова-Денисова 
205 |a 3-е изд., перераб. и доп. 
210 |a Москва  |c Высшая школа  |d 1983 
215 |a 112 с.  |c ил. 
225 1 |a Профессионально-техническое образование 
320 |a Библиогр.: с. 111 
606 1 |a Полупроводниковые материалы  |x Параметры  |x Измерение  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50665  |9 69316 
610 1 |a полупроводники 
610 1 |a механическая обработка 
610 1 |a резка 
610 1 |a шлифовка 
610 1 |a полировка 
610 1 |a скрайбирование 
610 1 |a контроль качества 
610 1 |a методы 
610 1 |a брак 
610 1 |a устранение 
610 1 |a учебные пособия 
675 |a 621.315.592  |z rus  |v 3 
700 1 |a Бочкин  |b О. И.  |g Олег Иванович  |4 070 
701 1 |a Брук  |b В. А.  |g Вадим Аркадьевич 
701 1 |a Никифорова-Денисова  |b С. Н.  |g Светлана Николаевна 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950704  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20150724 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20190319  |g RCR 
942 |c BK