Импульсный отжиг полупроводниковых материалов

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلف مشترك:	Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП)
مؤلفون آخرون:	Двуреченский А. В. Анатолий Васильевич (редактор), Качурин Г. А. Григорий Аркадьевич, Нидаев Е. В. Евгений Васильевич, Смирнов Л. С. Леонид Степанович, Ржанов А. В. Анатолий Васильевич
اللغة:	الروسية
منشور في:	Москва, Наука, 1982
الموضوعات:	Полупроводники > Легирование ионное полупроводниковые материалы импульсный отжиг наносекундные импульсы сканирующие лучи радиационные дефекты кристаллизация примеси тепловые поля
التنسيق:	كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=300841

الوصف
وصف مادي:	208 с. ил.

مواد مشابهة