MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 299876
005 20231102001239.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\325029 
090 |a 299876 
100 |a 20150703d1983 k y0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a BY 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана  |f П. А. Витязь, Г. Н. Дубровская, Л. М. Кирилюк 
210 |a Минск  |c Наука и техника  |d 1983 
215 |a 96 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 92-95 
606 1 |a Защитные покрытия  |x Нанесение  |x Автоматизация  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\11431  |9 38368 
610 1 |a титан 
610 1 |a нитриды 
610 1 |a осаждение 
610 1 |a газовые фазы 
610 1 |a кинетика 
610 1 |a структура 
610 1 |a свойства 
675 |a 621.793  |z rus  |v 4 
700 1 |a Витязь  |b П. А.  |g Петр Александрович  |4 070 
701 1 |a Дубровская  |b Г. Н.  |g Галина Николаевна 
701 1 |a Кирилюк  |b Л. М.  |g Людмила Михайловна 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950704  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20150703 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20180410  |g RCR 
942 |c BK