|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
297349 |
| 005 |
20231102001011.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\322482
|
| 090 |
|
|
|a 297349
|
| 100 |
|
|
|a 20150608d1982 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a LT
|
| 105 |
|
|
|a a z 101zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|e тезисы докладов республиканской конференции, 2-5 февраля 1982 г.
|f Каунасский политехнический институт (КПИ)
|
| 210 |
|
|
|a Каунас
|c Изд-во КПИ
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 152 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a проводящие имплантированные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a стабилизация
|
| 610 |
1 |
|
|a имплантированные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a скорость
|
| 610 |
1 |
|
|a радиационные дефекты
|
| 610 |
1 |
|
|a имплантированные твердые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a акустоэмиссия
|
| 610 |
1 |
|
|a температурные зависимости
|
| 610 |
1 |
|
|a конференции
|
| 675 |
|
|
|a 621.38.049.77(063)
|v 4
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Каунасский политехнический институт (КПИ)
|c (1951-1990)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19320
|
| 712 |
1 |
2 |
|a Перспективы развития технических наук в республике и использование их результатов
|c конференция
|e Каунас
|f 1982
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150608
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20181129
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
