Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
| Korporacja: | |
|---|---|
| Kolejni autorzy: | , , , |
| Streszczenie: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких плёнок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуумно-дуговой плазмы. Подробно описана установка "Радуга-Спектр" кафедры общей физики ФТИ НИ ТПУ, в которой совмещены указанные методы, и кроме того, снабженной генератором газовой плазмы и электронной пушкой. Предназначено для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по специальности 01.04.07 "Физика конденсированного состояния вещества". Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ |
| Język: | rosyjski |
| Wydane: |
Томск, Изд-во ТПУ, 2014
|
| Wydanie: | 2-е изд. |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2015/m183.pdf |
| Format: | Elektroniczne Książka |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=296811 |
Podobne zapisy
Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Wydane: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)
Wydane: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)
Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Wydane: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)
Wydane: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)
Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие
od: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Wydane: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)
od: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Wydane: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
od: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Wydane: (Москва, Радио и связь, 1983)
od: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Wydane: (Москва, Радио и связь, 1983)
Плазменные покрытия (свойства и применение): учебное пособие
od: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Wydane: (Томск, Изд-во ТПУ, 2009)
od: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Wydane: (Томск, Изд-во ТПУ, 2009)
Модификация поверхностных слоёв титана при ионной имплантации алюминия; Радиационная физика и химия неорганических материалов. РФХ - 2003
Wydane: (2003)
Wydane: (2003)
Физико-химические процессы при плазменном напылении и разрушении материалов с покрытиями
od: Максимович Г. Г. Георгий Григорьевич
Wydane: (Киев, Наукова думка, 1983)
od: Максимович Г. Г. Георгий Григорьевич
Wydane: (Киев, Наукова думка, 1983)
Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие
od: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Wydane: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)
od: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Wydane: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)
Инженерия поверхностей металлов и сплавов с использованием многокомпонентных плазменных потоков и ионно-ассистированного осаждения
od: Белый А. В.
Wydane: (Минск, Белорусская наука, 2024)
od: Белый А. В.
Wydane: (Минск, Белорусская наука, 2024)
Плазменные покрытия с нанокристаллической и аморфной структурой
od: Калита В. И.
Wydane: (Москва, Лидер М, 2008)
od: Калита В. И.
Wydane: (Москва, Лидер М, 2008)
Высокоинтенсивная имплантация ионов алюминия в никель и титан; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 3
Wydane: (2004)
Wydane: (2004)
Плазменные покрытия (свойства и применение): учебное пособие
od: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Wydane: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)
od: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Wydane: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)
Дуговое напыление покрытия AlTiN с помощью магнитного фильтра; Современные технологии и материалы новых поколений
od: Прокопенко Н. А.
Wydane: (2017)
od: Прокопенко Н. А.
Wydane: (2017)
Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20
od: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Wydane: (Томск, 2015)
od: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Wydane: (Томск, 2015)
Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец.01.04.20
od: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Wydane: (Томск, [Б. и.], 2015)
od: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Wydane: (Томск, [Б. и.], 2015)
Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20
od: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Wydane: (Томск, [Б. и.], 2015)
od: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Wydane: (Томск, [Б. и.], 2015)
Плазменные покрытия (свойства и применение): учебное пособие
od: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Wydane: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)
od: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Wydane: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)
Материалы II Всесоюзного семинара по динамике сильноточного дугового разряда в магнитном поле, Новосибирск, 4-6 дек. 1991 г.
Wydane: (Новосибирск, ИТФ, 1992)
Wydane: (Новосибирск, ИТФ, 1992)
Ионно-лучевая и ионно-плазменная модификация материалов
Wydane: (Москва, Изд-во МГУ, 2005)
Wydane: (Москва, Изд-во МГУ, 2005)
Генерация потоков электродуговой плазмы: сборник научных статей
Wydane: (Новосибирск, Изд-во Институт теплофизики СО АН СССР, 1987)
Wydane: (Новосибирск, Изд-во Институт теплофизики СО АН СССР, 1987)
Investigation of filtered vacuum arc plasma application for TiAlN and TiSiB coatings deposition using ion beam and plasma material processing; Surface and Coatings Technology; Vol. 296
Wydane: (2016)
Wydane: (2016)
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии: учебник для бакалавриата и магистратуры
Wydane: (Москва, Юрайт, 2016)
Wydane: (Москва, Юрайт, 2016)
Математическое моделирование процессов в газоразрядной плазме
od: Намитоков К. К. Кемаль Кадырович
Wydane: (Алма-Ата, Наука, 1988)
od: Намитоков К. К. Кемаль Кадырович
Wydane: (Алма-Ата, Наука, 1988)
Filtered Vacuum Arc Plasma Application For Ion-Beam and Plasma Material Processing; The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand
Wydane: (2015)
Wydane: (2015)
Ионно-плазменная обработка материалов: курс лекций
od: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Wydane: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)
od: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Wydane: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)
Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03
od: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Wydane: (Томск, 2010)
od: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Wydane: (Томск, 2010)
Gas-discharge plasma application for ion-beam treatment of the holes' inner surfaces; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 2064 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2021)
Wydane: (2021)
Wydane: (2021)
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
od: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Wydane: (Москва, Техносфера, 2010)
od: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Wydane: (Москва, Техносфера, 2010)
Вакуумный технологический комплекс "Спрут" плазменного магнетронно-дугового формирования поверхностных структур со сверхсвойствами; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
Wydane: (2009)
Wydane: (2009)
Применение метода осаждения из абляционной плазмы для получения биоактивных покрытий на имплантантах; Современные техника и технологии; Т. 2
od: Швецов Е. Е. Егор Евгеньевич
Wydane: (2010)
od: Швецов Е. Е. Егор Евгеньевич
Wydane: (2010)
Формирование и исследование тонкопленочной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
od: Чжан Ле
Wydane: (Томск, 2020)
od: Чжан Ле
Wydane: (Томск, 2020)
Разработка и исследование источника ускоренных ионов и плазмы на основе непрерывного вакуумно-дугового разряда и систем очистки плазмы от микрокапельной фракции: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
od: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Wydane: (Томск, 1998)
od: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Wydane: (Томск, 1998)
Система управления перемещением кассеты установки ионно-плазменного напыления "Опал-3"; Современные техника и технологии; Т. 1.
od: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Wydane: (2003)
od: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Wydane: (2003)
Особенности измерения термоэдс циркониевого сплава с напыленным слоем никеля; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Асхатов А. А.
Wydane: (2018)
od: Асхатов А. А.
Wydane: (2018)
Формирование и исследование тонкоплёночной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
od: Чжан Ле
Wydane: (Томск, 2020)
od: Чжан Ле
Wydane: (Томск, 2020)
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для вузов
od: Сигов А. С. Александр Сергеевич
Wydane: (Москва, Юрайт, 2022)
od: Сигов А. С. Александр Сергеевич
Wydane: (Москва, Юрайт, 2022)
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для вузов
od: Сигов А. С. Александр Сергеевич
Wydane: (Москва, Юрайт, 2023)
od: Сигов А. С. Александр Сергеевич
Wydane: (Москва, Юрайт, 2023)
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для вузов
od: Сигов А. С. Александр Сергеевич
Wydane: (Москва, Юрайт, 2024)
od: Сигов А. С. Александр Сергеевич
Wydane: (Москва, Юрайт, 2024)
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для вузов
od: Сигов А. С. Александр Сергеевич
Wydane: (Москва, Юрайт, 2026)
od: Сигов А. С. Александр Сергеевич
Wydane: (Москва, Юрайт, 2026)
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для вузов
od: Сигов А. С. Александр Сергеевич
Wydane: (Москва, Юрайт, 2025)
od: Сигов А. С. Александр Сергеевич
Wydane: (Москва, Юрайт, 2025)