Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей, учебное пособие

Bibliographic Details
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Other Authors: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Шулепов И. А. Иван Анисимович, Дегтярёв С. В. Сергей Валентинович, Степанов И. Б. Игорь Борисович
Summary:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких плёнок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуумно-дуговой плазмы. Подробно описана установка "Радуга-Спектр" кафедры общей физики ФТИ НИ ТПУ, в которой совмещены указанные методы, и кроме того, снабженной генератором газовой плазмы и электронной пушкой. Предназначено для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по специальности 01.04.07 "Физика конденсированного состояния вещества".
Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
Language:Russian
Published: Томск, Изд-во ТПУ, 2014
Edition:2-е изд.
Subjects:
электронный ресурс
учебные пособия
труды учёных ТПУ
ионно-плазменные технологии
покрытия
поверхности
твердые тела
вакуумно-дуговые испарения
магнетронные напыления
тонкие пленки
ионно-плазменные методы
ионная имплантация
плазма
тлеющий разряд
газоразрядная плазма
физические установки
Радуга-Спектр
Online Access:http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2015/m183.pdf
Format: Electronic Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=296811

Similar Items

Similar Items