Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
| Співавтор: | |
|---|---|
| Інші автори: | , , , |
| Резюме: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких плёнок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуумно-дуговой плазмы. Подробно описана установка "Радуга-Спектр" кафедры общей физики ФТИ НИ ТПУ, в которой совмещены указанные методы, и кроме того, снабженной генератором газовой плазмы и электронной пушкой. Предназначено для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по специальности 01.04.07 "Физика конденсированного состояния вещества". Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Томск, Изд-во ТПУ, 2014
|
| Редагування: | 2-е изд. |
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2015/m183.pdf |
| Формат: | Електронний ресурс Книга |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=296811 |
MARC
| LEADER | 00000nlm0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 296811 | ||
| 005 | 20231102000938.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\321919 | ||
| 035 | |a RU\TPU\book\277526 | ||
| 090 | |a 296811 | ||
| 100 | |a 20150603d2014 m y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a a j 001zy | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей |b Электронный ресурс |e учебное пособие |f Н. Н. Никитенков [и др.] |g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 205 | |a 2-е изд. | ||
| 210 | |a Томск |c Изд-во ТПУ |d 2014 | ||
| 230 | |a 1 компьютерный файл (pdf; 2.8 MB) | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного экрана | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 330 | |a Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких плёнок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуумно-дуговой плазмы. Подробно описана установка "Радуга-Спектр" кафедры общей физики ФТИ НИ ТПУ, в которой совмещены указанные методы, и кроме того, снабженной генератором газовой плазмы и электронной пушкой. Предназначено для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по специальности 01.04.07 "Физика конденсированного состояния вещества". | ||
| 333 | |a Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 452 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\309576 |t Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей |o учебное пособие |f Н. Н. Никитенков [и др.] |g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |e 2-е изд. |c Томск |n Изд-во ТПУ |d 2014 |p 68 с. | |
| 606 | 1 | |a Плазменное напыление |x Физико-химические процессы |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\48962 |9 67777 | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a учебные пособия | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a ионно-плазменные технологии | |
| 610 | 1 | |a покрытия | |
| 610 | 1 | |a поверхности | |
| 610 | 1 | |a твердые тела | |
| 610 | 1 | |a вакуумно-дуговые испарения | |
| 610 | 1 | |a магнетронные напыления | |
| 610 | 1 | |a тонкие пленки | |
| 610 | 1 | |a ионно-плазменные технологии | |
| 610 | 1 | |a ионно-плазменные методы | |
| 610 | 1 | |a ионная имплантация | |
| 610 | 1 | |a плазма | |
| 610 | 1 | |a тлеющий разряд | |
| 610 | 1 | |a газоразрядная плазма | |
| 610 | 1 | |a физические установки | |
| 610 | 1 | |a Радуга-Спектр | |
| 675 | |a 621.793.74(075.8) |v 3 | ||
| 701 | 1 | |a Никитенков |b Н. Н. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1953- |g Николай Николаевич |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25364 | |
| 701 | 1 | |a Шулепов |b И. А. |c физик |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1954- |g Иван Анисимович |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28219 | |
| 701 | 1 | |a Дегтярёв |b С. В. |g Сергей Валентинович | |
| 701 | 1 | |a Степанов |b И. Б. |c физик |c заведующий лабораторией Центра исследования свойств материалов Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1968- |g Игорь Борисович |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26466 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Физико-технический институт (ФТИ) |b Кафедра общей физики (ОФ) |h 136 |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18734 |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20140326 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160615 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2015/m183.pdf | |
| 942 | |c CF | ||