|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
295626 |
| 005 |
20231102000828.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 84-50637
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\320714
|
| 090 |
|
|
|a 295626
|
| 100 |
|
|
|a 20150525d1983 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Моделирование, управление, контроль при производстве интегральных схем
|e сборник научных трудов
|f Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во МИЭТ
|d 1983
|
| 215 |
|
|
|a 99 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|x Оборудование
|x Механизация
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43842
|9 63283
|
| 610 |
1 |
|
|a моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a управление
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a имитационное моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a метрологические исследования
|
| 610 |
1 |
|
|a автоматические измерения
|
| 610 |
1 |
|
|a структурные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a статистические характеристики
|
| 610 |
1 |
|
|a оперативно-календарное планирование
|
| 610 |
1 |
|
|a дефекты
|
| 610 |
1 |
|
|a топология интегральных микросхем
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|v 3
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
|c (1965-1992)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19357
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150525
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20181031
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
