|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
294690 |
| 005 |
20231102000728.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 84-7264
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\319763
|
| 090 |
|
|
|a 294690
|
| 100 |
|
|
|a 20150515d1984 m y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология полупроводникового производства (программированное пособие)
|e учебное пособие
|f О. К. Мокеев, А. С. Романов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Высшая школа
|d 1984
|
| 215 |
|
|
|a 176 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Профессионально-техническое образование
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 173
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые приборы
|x Производство
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50692
|9 69343
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a механическая обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые пластины
|
| 610 |
1 |
|
|a плазмохимическая очистка
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальное наращивание
|
| 610 |
1 |
|
|a легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a фотошаблоны
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a монтаж
|
| 610 |
1 |
|
|a герметизация
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002(075.32)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Мокеев
|b О. К.
|g Олег Константинович
|
| 701 |
|
1 |
|a Романов
|b А. С.
|g Александр Сергеевич
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150515
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190211
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
