Технология полупроводникового производства (программированное пособие), учебное пособие

Bibliographic Details
Main Author:	Мокеев О. К. Олег Константинович
Other Authors:	Романов А. С. Александр Сергеевич
Published:	Москва, Высшая школа, 1984
Series:	Профессионально-техническое образование
Subjects:	учебные пособия полупроводниковые материалы механическая обработка полупроводники полупроводниковые пластины плазмохимическая очистка эпитаксиальные слои эпитаксиальное наращивание легирование тонкопленочные покрытия фотолитография фотошаблоны интегральные микросхемы монтаж герметизация изготовление
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=294690

Description
Physical Description:	176 с. ил.

Similar Items