Технология полупроводникового производства (программированное пособие): учебное пособие

Bibliografski detalji
Glavni autor:	Мокеев О. К. Олег Константинович
Daljnji autori:	Романов А. С. Александр Сергеевич
Jezik:	ruski
Izdano:	Москва, Высшая школа, 1984
Serija:	Профессионально-техническое образование
Teme:	Полупроводниковые приборы > Производство учебные пособия полупроводниковые материалы механическая обработка полупроводники полупроводниковые пластины плазмохимическая очистка эпитаксиальные слои эпитаксиальное наращивание легирование тонкопленочные покрытия фотолитография фотошаблоны интегральные микросхемы монтаж герметизация изготовление
Format:	Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=294690

Opis
Opis fizičkog objekta:	176 с. ил.

Slični predmeti