Вып. 6; Активируемые процессы технологии микроэлектроники

Бібліографічні деталі
Parent link:	Активируемые процессы технологии микроэлектроники: междуведомственный тематический научный сборник/ Таганрогский радиотехнический институт (ТРТИ). Вып. 6.— , 1975-1986.— 0320-4502
Мова:	Російська
Опубліковано:	1982
Предмети:	Микроэлектронные схемы > Производство легированные пленки бор кремний диффузия математические модели диоды Ганна получение ионная имплантация МДП-структуры емкость измерение облучение дефекты
Формат:	Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=294220

Опис
Фізичний опис:	113 с. ил.

Схожі ресурси