|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
29185 |
| 005 |
20231101205907.0 |
| 010 |
|
|
|a 5229007885
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\29445
|
| 035 |
|
|
|a BOOK00029520
|
| 090 |
|
|
|a 29185
|
| 100 |
|
|
|a 20011209d1992 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология и оборудование вакуумного напыления
|f М. М. Никитин
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Металлургия
|d 1992
|
| 215 |
|
|
|a 112 с.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 109-111.
|
| 606 |
1 |
|
|a Металлизация в вакууме
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\42282
|9 61961
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумное напыление
|
| 610 |
1 |
|
|a атомарные потоки вещества
|
| 610 |
1 |
|
|a физические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a создание
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a рост
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a установки
|
| 610 |
1 |
|
|a схемы
|
| 675 |
|
|
|a 621.793.1
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Никитин
|b М. М.
|g Михаил Михайлович
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 20011209
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20220415
|g PSBO
|
| 900 |
|
|
|a Плазменные покрытия
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
