Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности: пер. с англ.
| Glavni autor: | |
|---|---|
| Daljnji autori: | |
| Jezik: | ruski |
| Izdano: |
Москва, Мир, 1992
|
| Teme: | |
| Format: | MixedMaterials Knjiga |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=29151 |