Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности: пер. с англ.
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Outros autores: | |
| Idioma: | ruso |
| Publicado: |
Москва, Мир, 1992
|
| Subjects: | |
| Formato: | MixedMaterials Libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=29151 |