Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности, пер. с англ.

Bibliographic Details
Main Author:	Дюваль П. Пьер
Other Authors:	Неустроев С. А
Language:	Russian
Published:	Москва, Мир, 1992
Subjects:	электроника микроэлектроника интегральные схемы производство вакуум применение высоковакуумное оборудование измерения безопасность
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=29151

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	29151
005	20231030203205.0
010			\|a 5030020020
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\29410
035			\|a BOOK00029485
090			\|a 29151
100			\|a 20011209d1992 km y0rusy50 ca
101	1		\|a rus \|c eng
102			\|a RU
105			\|a а z 001zy
200	1		\|a Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности \|e пер. с англ. \|f П. Дюваль
210			\|a Москва \|c Мир \|d 1992
215			\|a 263 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 203-208 (125 назв.).
610	1		\|a электроника
610	1		\|a микроэлектроника
610	1		\|a интегральные схемы
610	1		\|a производство
610	1		\|a вакуум
610	1		\|a применение
610	1		\|a высоковакуумное оборудование
610	1		\|a измерения
610	1		\|a безопасность
675			\|a 621.382.049.77.002 \|v 3
700		1	\|a Дюваль \|b П. \|g Пьер
702		1	\|a Неустроев \|b С. А
801		0	\|a RU \|b 63413507 \|c 20011209 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20081013 \|g PSBO
942			\|c BK