Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности: пер. с англ.
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва, Мир, 1992
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=29151 |
| Physical Description: | 263 с. ил. |
|---|---|
| ISBN: | 5030020020 |