Дюваль П. Пьер & Неустроев С. А. (1992). Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности: пер. с англ. Москва, Мир, 1992.
Chicago Style (17th ed.) CitationДюваль П. Пьер and Неустроев С. А. Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности: пер. с англ. Москва, Мир, 1992, 1992.
MLA (9th ed.) CitationДюваль П. Пьер and Неустроев С. А. Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности: пер. с англ. Москва, Мир, 1992, 1992.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.