|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
291124 |
| 005 |
20231102000345.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 85-12470
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\315689
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\309958
|
| 090 |
|
|
|a 291124
|
| 100 |
|
|
|a 20150411d1982 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физика микроэлектронных приборов
|e сборник научных трудов
|f Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c [Б. и.]
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 93 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 606 |
1 |
|
|a Интегральные схемы микроэлектронные
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\12776
|9 39496
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a композиционные материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a механика твердого тела
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a приборы
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|z rus
|v 4
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
|c (1965-1992)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19357
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150227
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190215
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
