MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 28965
005 20231030203045.0
010 |a 5256004255 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\29223 
035 |a BOOK00029298 
090 |a 28965 
100 |a 20011209d1992 km y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Механические явления в интегральных структурах  |f Н. П. Захаров, А. В. Багдасарян 
210 |a Москва  |c Радио и связь  |d 1992 
215 |a 144 с.  |c ил. 
225 1 |a Массовая библиотека инженера "Электроника" 
320 |a Библиогр.: с. 133-142. 
610 1 |a интегральные микросхемы 
610 1 |a пластины 
610 1 |a напряженно-деформированные структуры 
610 1 |a полупроводниковые пластины 
610 1 |a поля напряженности 
610 1 |a деформация 
675 |a 621.382.049.77:53  |v 3 
700 1 |a Захаров  |b Н. П.  |g Николай Павлович 
701 1 |a Багдасарян  |b А. В.  |g Альберт Вардкесович 
801 0 |a RU  |b 63413507  |c 20011209  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150814  |g PSBO 
942 |c BK