Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Александров В. К. Владимир Кузьмич
Andre forfattere:	Пилипович В. А. (редактор)
Sprog:	russisk
Udgivet:	Минск, Наука и техника, 1983
Fag:	Микроэлектроника дискретная микроминиатюризация детали получение техника достижения интегральная микроминиатюризация микрометрические пленки диэлектрики ионная имплантация травление маскирование литография применение
Format:	Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=289506

Lignende værker

Микроэлектроника: межвузовский сборник; Вып. 2
Udgivet: (Казань, Изд-во КАИ, 1978)

Проблемы литографии в микроэлектронике
Udgivet: (Москва, Наука, 1987)

Современные технологии в микроэлектронике: электронный курс
af: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Udgivet: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Неорганические диэлектрики в электронной технике: сборник научных трудов
Udgivet: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)

Физические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
Udgivet: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1986)

Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ.
Udgivet: (Москва, Мир, 1969)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
af: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Udgivet: (Москва, Высшая школа, 1987)

Материаловедение в микроэлектронике
af: Палатник Л. С. Лев Самойлович
Udgivet: (Москва, Энергия, 1978)

Устройства, элементы и методы комплексной микроминиатюризации РЭА: межвузовский сборник
Udgivet: (Казань, Изд-во КАИ, 1980)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство
af: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Udgivet: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)

Физические основы микроэлектроники: учебник для вузов
af: Марголин В. И. Владимир Игоревич
Udgivet: (Москва, Академия, 2008)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Udgivet: (2011)

Вып. 29; Полупроводниковая техника и микроэлектроника
Udgivet: (1979)

Вып. 4; Микроэлектроника
Udgivet: (1971)

Введение в современную микро-и наносистемную технику: учебное пособие
af: Гридчин А. В. Александр Викторович
Udgivet: (Москва, Инфра-Инженерия, 2024)

Вып. 35 : Физико-математическая серия; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Udgivet: (1977)

Микроэлектроника и однородные структуры для построения логических и вычислительных устройств
Udgivet: (Москва, Наука, 1967)

Физико-технологические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
Udgivet: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)

Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике: сборник научных трудов
Udgivet: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)

Ч. 1; Технологические основы микроэлектроники
Udgivet: (2008)

Электронная техника. Сер. 11 : Комплексная микроминиатюризация радиоэлектронных устройств и систем: научно-технический сборник
Udgivet: (Москва, ЦНИИ Электроника, 1976)

Микроэлектронная технология и ее влияние на общество: пер. с англ.; сборник статей
Udgivet: (Москва, Знание, 1987)

Microelectronics
af: Alley C. L. Charles
Udgivet: (New Jersey, Prentice Hall, 1986)

Твердотельная СВЧ радиофизика и микроэлектроника: тематический сборник
Udgivet: (Москва, Изд-во МЭИ, 1980)

Микроэлектроника: тезисы докладов республиканской конференции, 2-5 февраля 1982 г.
Udgivet: (Каунас, Изд-во КПИ, 1982)

Конструирование и микроминиатюризация электронной вычислительной аппаратуры: учебное пособие
af: Куземин А. Я. Александр Яковлевич
Udgivet: (Москва, Радио и связь, 1985)

[Ч. 1]; Пути повышения стабильности и надежности микроэлементов и микросхем
Udgivet: (1988)

Вып. 38 : Спецматериалы для микроэлектронике; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Udgivet: (1978)

Микроэлектроника: физические и технологические основы, надежность: учебное пособие
af: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Udgivet: (Москва, Высшая школа, 1986)

Технологические проблемы микроэлектроники
Udgivet: (Москва, Наука, 1988)

Расчет комплексов оборудования микроэлектроники
af: Корнилов Р. В. Ростислав Васильевич
Udgivet: (Москва, Энергия, 1979)

Конструирование и технология микроэлектронной аппаратуры: сборник научных трудов
Udgivet: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)

Вып. 31; Полупроводниковая техника и микроэлектроника
Udgivet: (1980)

Вып. 32; Полупроводниковая техника и микроэлектроника
Udgivet: (1980)

Электроника и интеллект
af: Федотов Я. А. Яков Андреевич
Udgivet: (Минск, Вышэйшая школа, 1985)

Конструирование аппаратуры автоматики и телемеханики: учебное пособие
af: Митрейкин Н. А. Николай Александрович
Udgivet: (Москва, Машиностроение, 1975)

Вып. 30; Полупроводниковая техника и микроэлектроника
Udgivet: (1979)

Исследования новых микроэлектронных приборов и устройств. Вопросы электроники: межвузовский сборник
Udgivet: (Кишинев, Штиинца, 1987)

Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Udgivet: (1978)

Математическое и машинное моделирование в микроэлектронике. ММММ-86: доклады школы-семинара, 1986 г., Паланга
Udgivet: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)