Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Александров В. К. Владимир Кузьмич
Altres autors:	Пилипович В. А. (340)
Idioma:	rus
Publicat:	Минск, Наука и техника, 1983
Matèries:	дискретная микроминиатюризация детали получение техника достижения интегральная микроминиатюризация микрометрические пленки диэлектрики ионная имплантация травление маскирование литография применение
Format:	Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=289506

Ítems similars

Микроэлектроника межвузовский сборник
Publicat: (Казань, Изд-во КАИ, 1978)

Проблемы литографии в микроэлектронике
Publicat: (Москва, Наука, 1987)

Современные технологии в микроэлектронике электронный курс
per: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Publicat: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Неорганические диэлектрики в электронной технике сборник научных трудов
Publicat: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)

Физические основы микроэлектроники сборник научных трудов
Publicat: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1986)

Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия пер. с англ.
Publicat: (Москва, Мир, 1969)

Физико-химические процессы в технологии РЭА учебник для вузов
per: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Publicat: (Москва, Высшая школа, 1987)

Материаловедение в микроэлектронике
per: Палатник Л. С. Лев Самойлович
Publicat: (Москва, Энергия, 1978)

Физические основы микроэлектроники учебник для вузов
per: Марголин В. И. Владимир Игоревич
Publicat: (Москва, Академия, 2008)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование учебно-справочное руководство
per: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Publicat: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)

Устройства, элементы и методы комплексной микроминиатюризации РЭА межвузовский сборник
Publicat: (Казань, Изд-во КАИ, 1980)

Т. 2: Технологические аспекты
Publicat: (2011)

Вып. 29
Publicat: (1979)

Введение в современную микро-и наносистемную технику учебное пособие
per: Гридчин А. В. Александр Викторович
Publicat: (Москва, Инфра-Инженерия, 2024)

Вып. 35 : Физико-математическая серия
Publicat: (1977)

Микроэлектроника и однородные структуры для построения логических и вычислительных устройств
Publicat: (Москва, Наука, 1967)

Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике сборник научных трудов
Publicat: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)

Физико-технологические основы микроэлектроники сборник научных трудов
Publicat: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)

Ч. 1
Publicat: (2008)

Электронная техника. Сер. 11 : Комплексная микроминиатюризация радиоэлектронных устройств и систем научно-технический сборник
Publicat: (Москва, ЦНИИ Электроника, 1976)

Микроэлектронная технология и ее влияние на общество пер. с англ. сборник статей
Publicat: (Москва, Знание, 1987)

Microelectronics
per: Alley C. L. Charles
Publicat: (New Jersey, Prentice Hall, 1986)

Твердотельная СВЧ радиофизика и микроэлектроника тематический сборник
Publicat: (Москва, Изд-во МЭИ, 1980)

Микроэлектроника тезисы докладов республиканской конференции, 2-5 февраля 1982 г.
Publicat: (Каунас, Изд-во КПИ, 1982)

[Ч. 1]
Publicat: (1988)

Вып. 38 : Спецматериалы для микроэлектронике
Publicat: (1978)

Технологические проблемы микроэлектроники
Publicat: (Москва, Наука, 1988)

Расчет комплексов оборудования микроэлектроники
per: Корнилов Р. В. Ростислав Васильевич
Publicat: (Москва, Энергия, 1979)

Конструирование и технология микроэлектронной аппаратуры сборник научных трудов
Publicat: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)

Вып. 32
Publicat: (1980)

Вып. 31
Publicat: (1980)

Вып. 30
Publicat: (1979)

Электроника и интеллект
per: Федотов Я. А. Яков Андреевич
Publicat: (Минск, Вышэйшая школа, 1985)

Исследования новых микроэлектронных приборов и устройств. Вопросы электроники межвузовский сборник
Publicat: (Кишинев, Штиинца, 1987)

Микроэлектроника. Проектирование, виды микросхем, новые направления учебное пособие
per: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Publicat: (Москва, Высшая школа, 1978)

Математическое и машинное моделирование в микроэлектронике. ММММ-86 доклады школы-семинара, 1986 г., Паланга
Publicat: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)

Проблемы микроэлектроники сборник научных трудов
Publicat: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1986)

Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники
Publicat: (1978)

Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники сборник научных трудов
Publicat: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1985)

Точное машиностроение для микроэлектроники
per: Онегин Е. Е. Евгений Евгеньевич
Publicat: (Москва, Радио и связь, 1986)