Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации

Detalhes bibliográficos
Autor principal:	Александров В. К. Владимир Кузьмич
Outros Autores:	Пилипович В. А. (редактор)
Idioma:	russo
Publicado em:	Минск, Наука и техника, 1983
Assuntos:	Микроэлектроника дискретная микроминиатюризация детали получение техника достижения интегральная микроминиатюризация микрометрические пленки диэлектрики ионная имплантация травление маскирование литография применение
Formato:	Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=289506

Registros relacionados

Микроэлектроника: межвузовский сборник; Вып. 2
Publicado em: (Казань, Изд-во КАИ, 1978)

Проблемы литографии в микроэлектронике
Publicado em: (Москва, Наука, 1987)

Современные технологии в микроэлектронике: электронный курс
por: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Publicado em: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Неорганические диэлектрики в электронной технике: сборник научных трудов
Publicado em: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)

Физические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
Publicado em: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1986)

Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ.
Publicado em: (Москва, Мир, 1969)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
por: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Publicado em: (Москва, Высшая школа, 1987)

Материаловедение в микроэлектронике
por: Палатник Л. С. Лев Самойлович
Publicado em: (Москва, Энергия, 1978)

Устройства, элементы и методы комплексной микроминиатюризации РЭА: межвузовский сборник
Publicado em: (Казань, Изд-во КАИ, 1980)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство
por: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Publicado em: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)

Физические основы микроэлектроники: учебник для вузов
por: Марголин В. И. Владимир Игоревич
Publicado em: (Москва, Академия, 2008)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Publicado em: (2011)

Вып. 29; Полупроводниковая техника и микроэлектроника
Publicado em: (1979)

Вып. 4; Микроэлектроника
Publicado em: (1971)

Введение в современную микро-и наносистемную технику: учебное пособие
por: Гридчин А. В. Александр Викторович
Publicado em: (Москва, Инфра-Инженерия, 2024)

Вып. 35 : Физико-математическая серия; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Publicado em: (1977)

Микроэлектроника и однородные структуры для построения логических и вычислительных устройств
Publicado em: (Москва, Наука, 1967)

Физико-технологические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
Publicado em: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)

Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике: сборник научных трудов
Publicado em: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)

Ч. 1; Технологические основы микроэлектроники
Publicado em: (2008)

Электронная техника. Сер. 11 : Комплексная микроминиатюризация радиоэлектронных устройств и систем: научно-технический сборник
Publicado em: (Москва, ЦНИИ Электроника, 1976)

Микроэлектронная технология и ее влияние на общество: пер. с англ.; сборник статей
Publicado em: (Москва, Знание, 1987)

Microelectronics
por: Alley C. L. Charles
Publicado em: (New Jersey, Prentice Hall, 1986)

Твердотельная СВЧ радиофизика и микроэлектроника: тематический сборник
Publicado em: (Москва, Изд-во МЭИ, 1980)

Микроэлектроника: тезисы докладов республиканской конференции, 2-5 февраля 1982 г.
Publicado em: (Каунас, Изд-во КПИ, 1982)

[Ч. 1]; Пути повышения стабильности и надежности микроэлементов и микросхем
Publicado em: (1988)

Конструирование и микроминиатюризация электронной вычислительной аппаратуры: учебное пособие
por: Куземин А. Я. Александр Яковлевич
Publicado em: (Москва, Радио и связь, 1985)

Вып. 38 : Спецматериалы для микроэлектронике; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Publicado em: (1978)

Расчет комплексов оборудования микроэлектроники
por: Корнилов Р. В. Ростислав Васильевич
Publicado em: (Москва, Энергия, 1979)

Микроэлектроника: физические и технологические основы, надежность: учебное пособие
por: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Publicado em: (Москва, Высшая школа, 1986)

Технологические проблемы микроэлектроники
Publicado em: (Москва, Наука, 1988)

Конструирование и технология микроэлектронной аппаратуры: сборник научных трудов
Publicado em: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)

Вып. 31; Полупроводниковая техника и микроэлектроника
Publicado em: (1980)

Вып. 32; Полупроводниковая техника и микроэлектроника
Publicado em: (1980)

Электроника и интеллект
por: Федотов Я. А. Яков Андреевич
Publicado em: (Минск, Вышэйшая школа, 1985)

Конструирование аппаратуры автоматики и телемеханики: учебное пособие
por: Митрейкин Н. А. Николай Александрович
Publicado em: (Москва, Машиностроение, 1975)

Исследования новых микроэлектронных приборов и устройств. Вопросы электроники: межвузовский сборник
Publicado em: (Кишинев, Штиинца, 1987)

Вып. 30; Полупроводниковая техника и микроэлектроника
Publicado em: (1979)

Микроэлектроника. Проектирование, виды микросхем, новые направления: учебное пособие
por: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Publicado em: (Москва, Высшая школа, 1978)

Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Publicado em: (1978)