Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Beste egile batzuk: Пилипович В. А. (редактор)
Hizkuntza:errusiera
Argitaratua: Минск, Наука и техника, 1983
Gaiak:
Микроэлектроника
дискретная микроминиатюризация
детали
получение
техника
достижения
интегральная микроминиатюризация
микрометрические пленки
диэлектрики
ионная имплантация
травление
маскирование
литография
применение
Formatua: Liburua
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=289506

Antzeko izenburuak