|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
289506 |
| 005 |
20231102000208.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 83-72240
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\314012
|
| 090 |
|
|
|a 289506
|
| 100 |
|
|
|a 20150401d1983 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
|f В. К. Александров
|g под ред. В. А. Пилиповича
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Наука и техника
|d 1983
|
| 215 |
|
|
|a 72 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 71
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a дискретная микроминиатюризация
|
| 610 |
1 |
|
|a детали
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a техника
|
| 610 |
1 |
|
|a достижения
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральная микроминиатюризация
|
| 610 |
1 |
|
|a микрометрические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрики
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a травление
|
| 610 |
1 |
|
|a маскирование
|
| 610 |
1 |
|
|a литография
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Александров
|b В. К.
|g Владимир Кузьмич
|
| 702 |
|
1 |
|a Пилипович
|b В. А.
|4 340
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150401
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20180228
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
