MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 289133
005 20231102000146.0
020 |a RU  |b 83-64763 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\313638 
090 |a 289133 
100 |a 20150331d1983 km y0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a UA 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Толстопленочная микроэлектроника  |f В. Г. Гребенкина [и др.]  |g Академия наук Украинской ССР (АН УССР), Институт проблем материаловедения им И. Н. Францевича (ИПМ) ; под ред. Ю. М. Горячева 
210 |a Киев  |c Наукова думка  |d 1983 
215 |a 247 с.  |c ил. 
300 |a Авт. указаны на обороте тит. л. 
320 |a Библиогр.: с. 241-245 
606 1 |a Тонкопленочная технология  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\60919  |9 78140 
610 1 |a микроэлектронные схемы пленочные 
610 1 |a проводниковые материалы 
610 1 |a резистивные материалы 
610 1 |a лудящие пасты 
610 1 |a свойства 
610 1 |a применение 
610 1 |a гибридные интегральные схемы 
610 1 |a микросборки 
610 1 |a производство 
675 |a 621.382.049.772  |z rus  |v 3 
701 1 |a Гребенкина  |b В. Г.  |g Валентина Георгиевна 
701 1 |a Доброер  |b В. С.  |g Владимир Сергеевич 
701 1 |a Панов  |b Л. И.  |g Леонид Иванович 
701 1 |a Тризна  |b Ю. П.  |g Юрий Павлович 
702 1 |a Горячев  |b Ю. М.  |4 340 
712 0 2 |a Академия наук Украинской ССР (АН УССР)  |b Институт проблем материаловедения им И. Н. Францевича (ИПМ)  |c (Киев)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\1143 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950704  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20150331 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20180214  |g RCR 
942 |c BK