MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 28890
005 20231030203028.0
010 |a 525601014X 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\29148 
035 |a BOOK00000007 
090 |a 28890 
100 |a 20011209d1992 m y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a y j 001zy 
200 1 |a Технология и конструирование интегральных микросхем  |e учебное пособие для вузов  |f А. С. Березин, О. Р. Мочалкина 
210 |a Москва  |c Радио и связь  |d 1992 
215 |a 320 с. 
320 |a Библиогр.: с. 316-317. 
451 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\book\65785  |t Технология и конструирование интегральных микросхем  |o учебное пособие  |f А. С. Березин, О. Р. Мочалкина  |g Под ред. И. П. Степаненко  |c М.  |n Радио и связь  |d 1983  |p 232 с.  |a Березин, Андрей Сергеевич 
610 1 |a электроника 
610 1 |a интегральные микросхемы 
610 1 |a технология 
610 1 |a конструирование 
610 1 |a кремний 
610 1 |a тонкие пленки 
610 1 |a литография 
610 1 |a МДП-микросхемы 
610 1 |a учебные пособия 
675 |a 621.382.049.77(075.8)  |v 3 
700 1 |a Березин  |b А. С.  |g Андрей Сергеевич 
701 1 |a Мочалкина  |b О. Р.  |g Ольга Романовна 
801 0 |a RU  |b 63413507  |c 20011209  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20210903  |g PSBO 
900 |a Технология производства электрооборудования автомобилей и тракторов 
942 |c BK