|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
287860 |
| 005 |
20231102000030.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 85-45418
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\312303
|
| 090 |
|
|
|a 287860
|
| 100 |
|
|
|a 20150319d1985 km y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Радиоволновая эллипсометрия
|f В. А. Конев, Е. М. Кулешов, Н. Н. Пунько
|g Академия наук Белорусской ССР (АН БССР), Институт прикладной физики (ИПФ) ; под ред. И. С. Ковалева
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Наука и техника
|d 1985
|
| 215 |
|
|
|a 104 с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 99-102
|
| 606 |
1 |
|
|a Эллипсометрия радиоволновая
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\21160
|9 46195
|
| 610 |
1 |
|
|a физические основы
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a отраженные СВЧ волны
|
| 610 |
1 |
|
|a поляризационные характеристики
|
| 610 |
1 |
|
|a поляризация
|
| 610 |
1 |
|
|a эллипсы
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 675 |
|
|
|a 535.5
|z rus
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Конев
|b В. А.
|g Владимир Афанасьевич
|4 070
|
| 701 |
|
1 |
|a Кулешов
|b Е. М.
|g Евгений Митрофанович
|
| 701 |
|
1 |
|a Пунько
|b Н. Н.
|g Николай Николаевич
|
| 702 |
|
1 |
|a Ковалев
|b И. С.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук Белорусской ССР (АН БССР)
|b Институт прикладной физики (ИПФ)
|c (Минск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\11348
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150319
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20180126
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
