MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 287317
005 20231101235958.0
020 |a RU  |b 85-60385 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\311712 
090 |a 287317 
100 |a 20150314g1984 m y0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 001zy 
200 1 |a Технология изготовления интегральных микросхем  |e конспект лекций   |h Ч. 2  |f П. С. Скачков  |g Московский горный институт (МГИ) 
210 |a Москва  |c Изд-во МГИ  |d 1984 
215 |e (ил.)  |a 24 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 23 
606 1 |a Микроэлектронные схемы  |x Производство  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43828  |9 63270 
610 1 |a интегральные микросхемы 
610 1 |a толстопленочные микросхемы 
610 1 |a гибридные микросхемы 
610 1 |a изготовление 
610 1 |a сборка 
610 1 |a лекции 
610 1 |a учебные пособия 
675 |a 621.382.049.77.002(075.8)  |z rus  |v 3 
700 1 |a Скачков  |b П. С.  |g Павел Сергеевич  |4 070 
712 0 2 |a Московский горный институт (МГИ)  |c (1930-1962, 1966-1993)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\3944 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950704  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20150314 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20180110  |g RCR 
942 |c BK