Скачков П. С. Павел Сергеевич. (1984). Технология изготовления интегральных микросхем: конспект лекций; Ч. 2. Москва, Изд-во МГИ, 1984.
Chicago Style (17th ed.) CitationСкачков П. С. Павел Сергеевич. Технология изготовления интегральных микросхем: конспект лекций; Ч. 2. Москва, Изд-во МГИ, 1984, 1984.
MLA (9th ed.) CitationСкачков П. С. Павел Сергеевич. Технология изготовления интегральных микросхем: конспект лекций; Ч. 2. Москва, Изд-во МГИ, 1984, 1984.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.