Вопросы создания и оптимизации оборудования микроэлектроники, сборник научных трудов

Chi tiết về thư mục
Tác giả của công ty:	Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
Tác giả khác:	Блинов И. Г. Иван Григорьевич (651)
Ngôn ngữ:	Tiếng Nga
Được phát hành:	Москва, Изд-во МИЭТ, 1984
Những chủ đề:	микроэлектроника оборудование создание оптимизация разработка обработка прецизионное позиционироывание
Định dạng:	Sách
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=286168

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	286168
005	20231101235851.0
020			\|a RU \|b 85-51887
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\310461
090			\|a 286168
100			\|a 20150303d1984 k y0rusy5003 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Вопросы создания и оптимизации оборудования микроэлектроники \|e сборник научных трудов \|f Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ) ; гл. ред. И. Г. Блинов
210			\|a Москва \|c Изд-во МИЭТ \|d 1984
215			\|a 136 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр. в конце ст.
606			\|a Микроэлектронные схемы интегральные \|x Производство \|x Физические основы \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43850 \|9 63291
610	1		\|a микроэлектроника
610	1		\|a оборудование
610	1		\|a создание
610	1		\|a оптимизация
610	1		\|a разработка
610	1		\|a обработка
610	1		\|a прецизионное позиционироывание
675			\|a 621.382.049.77.002 \|z rus \|v 3
702		1	\|a Блинов \|b И. Г. \|g Иван Григорьевич \|4 651
712	0	2	\|a Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ) \|c (1965-1992) \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19357
801		0	\|a RU \|b RuMRKP \|c 19950704 \|g psbo
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20150303
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20180115 \|g RCR
942			\|c BK