Вопросы создания и оптимизации оборудования микроэлектроники: сборник научных трудов

Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
Weitere Verfasser:	Блинов И. Г. Иван Григорьевич
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Москва, Изд-во МИЭТ, 1984
Schlagworte:	Микроэлектронные схемы интегральные > Производство > Физические основы микроэлектроника оборудование создание оптимизация разработка обработка прецизионное позиционироывание
Format:	Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=286168

Beschreibung
Beschreibung:	136 с. ил.

Ähnliche Einträge