Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебник
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Язык: | русский |
| Опубликовано: |
Москва, Высшая школа, 1985
|
| Издание: | 2-е изд., перераб. и доп. |
| Серии: | Профтехобразование |
| Предметы: | |
| Формат: | Книга |
| Запись в KOHA: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=286034 |