|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
286034 |
| 005 |
20231101235843.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\310323
|
| 090 |
|
|
|a 286034
|
| 100 |
|
|
|a 20150302d1985 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем
|e учебник
|f О. К. Мокеев, А. С. Романов
|
| 205 |
|
|
|a 2-е изд., перераб. и доп.
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Высшая школа
|d 1985
|
| 215 |
|
|
|a 312 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Профтехобразование
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые приборы
|x Производство
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50692
|9 69343
|
| 606 |
1 |
|
|a Микросхемы
|x Конструкция и расчет
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43764
|9 63207
|
| 610 |
1 |
|
|a учебники
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a химическая обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a фотошаблоны
|
| 610 |
1 |
|
|a химические материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a электрохимия
|
| 610 |
1 |
|
|a электролитическая очистка
|
| 610 |
1 |
|
|a травление
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002(075.8)
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.001(75.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Мокеев
|b О. К.
|g Олег Константинович
|
| 701 |
|
1 |
|a Романов
|b А. С.
|g Александр Сергеевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150302
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20180403
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
