Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем, учебник

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia:	Мокеев О. К. Олег Константинович
Beste egile batzuk:	Романов А. С. Александр Сергеевич
Hizkuntza:	errusiera
Argitaratua:	Москва, Высшая школа, 1985
Edizioa:	2-е изд., перераб. и доп.
Saila:	Профтехобразование
Gaiak:	Полупроводниковые приборы > Производство Микросхемы > Конструкция и расчет учебники фотолитография химическая обработка технологические процессы фотошаблоны химические материалы электрохимия электролитическая очистка травление
Formatua:	Liburua
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=286034

Deskribapena
Deskribapen fisikoa:	312 с. ил.

Antzeko izenburuak