Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебник
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Γλώσσα: | Ρωσικά |
| Έκδοση: |
Москва, Высшая школа, 1985
|
| Έκδοση: | 2-е изд., перераб. и доп. |
| Σειρά: | Профтехобразование |
| Θέματα: | |
| Μορφή: | Βιβλίο |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=286034 |
| Φυσική περιγραφή: | 312 с. ил. |
|---|