Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебник

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman:	Мокеев О. К. Олег Константинович
Övriga upphovsmän:	Романов А. С. Александр Сергеевич
Språk:	ryska
Publicerad:	Москва, Высшая школа, 1985
Upplaga:	2-е изд., перераб. и доп.
Serie:	Профтехобразование
Ämnen:	Полупроводниковые приборы > Производство Микросхемы > Конструкция и расчет учебники фотолитография химическая обработка технологические процессы фотошаблоны химические материалы электрохимия электролитическая очистка травление
Materialtyp:	Bok
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=286034

Beskrivning
Fysisk beskrivning:	312 с. ил.

Liknande verk