Мокеев О. К. Олег Константинович & Романов А. С. Александр Сергеевич. (1985). Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебник (2-е изд., перераб. и доп.). Москва, Высшая школа, 1985.
Cita Chicago Style (17a ed.)Мокеев О. К. Олег Константинович y Романов А. С. Александр Сергеевич. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебник. 2-е изд., перераб. и доп. Москва, Высшая школа, 1985, 1985.
Cita MLA (9a ed.)Мокеев О. К. Олег Константинович y Романов А. С. Александр Сергеевич. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебник. 2-е изд., перераб. и доп. Москва, Высшая школа, 1985, 1985.
Precaución: Estas citas no son 100% exactas.