Мокеев О. К. Олег Константинович & Романов А. С. Александр Сергеевич. (1985). Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебник (2-е изд., перераб. и доп.). Москва, Высшая школа, 1985.
Citação norma ChicagoМокеев О. К. Олег Константинович and Романов А. С. Александр Сергеевич. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебник. 2-е изд., перераб. и доп. Москва, Высшая школа, 1985, 1985.
Citação norma MLAМокеев О. К. Олег Константинович and Романов А. С. Александр Сергеевич. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебник. 2-е изд., перераб. и доп. Москва, Высшая школа, 1985, 1985.
Nota: a formatação da citação pode não corresponder 100% ao definido pela respectiva norma.