Мокеев О. К. Олег Константинович & Романов А. С. Александр Сергеевич. (1985). Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебник (2-е изд., перераб. и доп.). Москва, Высшая школа, 1985.
Chicago Style (17th ed.) CitationМокеев О. К. Олег Константинович and Романов А. С. Александр Сергеевич. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебник. 2-е изд., перераб. и доп. Москва, Высшая школа, 1985, 1985.
MLA (9th ed.) CitationМокеев О. К. Олег Константинович and Романов А. С. Александр Сергеевич. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебник. 2-е изд., перераб. и доп. Москва, Высшая школа, 1985, 1985.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.