MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 285701
005 20231101235823.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\309958 
090 |a 285701 
100 |a 20150227d1984 k y0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Физика микроэлектронных приборов  |e сборник научных трудов  |f Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ) ; под ред. Т. Д. Шермергора 
210 |a Москва  |c Изд-во МИЭТ  |d 1984 
215 |a 123 с.  |c ил. 
606 1 |a Интегральные схемы микроэлектронные  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\12776  |9 39496 
610 1 |a физика 
610 1 |a МДП-структуры 
610 1 |a плоские зоны 
610 1 |a напряжение 
610 1 |a ионный заряд 
610 1 |a нестационарные ионные процессы 
610 1 |a интегральная оптика 
610 1 |a дисковые пьезопреобразователи 
610 1 |a частотные характеристики 
610 1 |a расчет 
610 1 |a оксидные пленки 
675 |a 621.382.049.77  |z rus  |v 4 
702 1 |a Шермергор  |b Т. Д.  |g Тимофей Дмитриевич  |4 340 
712 0 2 |a Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)  |c (1965-1992)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\19357 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950704  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20150227 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20190926  |g RCR 
942 |c BK