Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие

Bibliographic Details
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Шулепов И. А. Иван Анисимович, Дектярев С. В. Сергей Валентинович, Степанов И. Б. Игорь Борисович
Summary:	Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких пленок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуумно-дуговой плазмы. Подробно описана установка «Радуга-Спектр» кафедры общей физики ФТИ НИ ТПУ, в которой совмещены указанные методы и, кроме того, снабженная генератором газовой плазмы и электронной пушкой.Предназначено для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по специальности 01.04.07 «Физика конденсированного состояния вещества».
Language:	Russian
Published:	Томск, Изд-во ТПУ, 2014
Edition:	2-е изд.
Subjects:	Плазменное напыление > Физико-химические процессы покрытия формирование ионно-плазменные методы твердые тела поверхности модификация вакуумно-дуговые испарения напыление пленки ионная имплантация тлеющий разряд газоразрядная плазма установка радуга-спектр учебные пособия труды учёных ТПУ
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=285339

Similar Items

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Модификация поверхностных слоёв титана при ионной имплантации алюминия; Радиационная физика и химия неорганических материалов. РФХ - 2003
Published: (2003)

Плазменные покрытия (свойства и применение): учебное пособие
by: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2009)

Физико-химические процессы при плазменном напылении и разрушении материалов с покрытиями
by: Максимович Г. Г. Георгий Григорьевич
Published: (Киев, Наукова думка, 1983)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2010)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
by: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1983)

Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие
by: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Плазменные покрытия с нанокристаллической и аморфной структурой
by: Калита В. И.
Published: (Москва, Лидер М, 2008)

Формирование и исследование тонкопленочной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Чжан Ле
Published: (Томск, 2020)

Формирование и исследование тонкоплёночной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Чжан Ле
Published: (Томск, 2020)

Система управления перемещением кассеты установки ионно-плазменного напыления "Опал-3"; Современные техника и технологии; Т. 1.
by: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Published: (2003)

Теоретические основы технологии плазменного напыления: учебное пособие для вузов
by: Пузряков А. Ф. Анатолий Филиппович
Published: (Москва, Изд-во МГТУ, 2008)

Плазменные покрытия (свойства и применение): учебное пособие
by: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2014)

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03
by: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Published: (Томск, 2010)

Ионно-плазменное напыление биоактивных покрытий на материалы медицинских имплантантов; Электротехника, электромеханика и электротехнологии
by: Михайдаров В. А.
Published: (2005)

Плазменные покрытия (свойства и применение): учебное пособие
by: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)

Современные технологии модифицирования поверхности металлических материалов и нанесения покрытий: методические указания к выполнению лабораторных работ
by: Зенин Б. С. Борис Сергеевич
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Плазменные электротехнологические установки: учебное пособие для вузов
by: Чередниченко В. С. Владимир Семенович
Published: (Новосибирск, Изд-во НГТУ, 2008)

Аморфные и нанокристаллические материалы плазменного напыления
by: Лепешев А. А. Анатолий Александрович
Published: (Германия, LAP Lambert Academic Publishing, 2015)

Высокоинтенсивная имплантация ионов алюминия в никель и титан; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 3
Published: (2004)

Модифицирование поверхности керамики карбида бора ионно-плазменным напылением плёнки титана облученной интенсивным электронным пучком; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
by: Жакипбекова А. С.
Published: (2016)

Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.20
by: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Published: (Томск, 2010)

Современные технологии нанесения упрочняющих покрытий на поверхности изделий сложных пространственных форм. Курс лекций
by: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
Published: (Москва, МИСИС, 2020)

Электрические явления в газах и вакууме: учебное пособие для втузов
by: Капцов Н. А.
Published: (Москва, Гостехиздат, 1947)

Направленное изменение химического состава подложки для оптимизации свойств износостойких покрытий; Материаловедение, технологии и экология в третьем тысячелетии
by: Ильина А. С. Александра Сергеевна
Published: (2016)

Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.20
by: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2010)

Плазменные покрытия
by: Костиков В. И. Валерий Иванович
Published: (Москва, Металлургия, 1978)

Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.20
by: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Published: (Томск, 2010)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец.01.04.20
by: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Published: (Томск, [Б. и.], 2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20
by: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Published: (Томск, [Б. и.], 2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20
by: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Published: (Томск, 2015)

Формирование функциональных слоев учебное пособие
by: Панфилов Ю. В.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Современные методы нанесения защитных и износостойких покрытий с наноструктурой; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Морева Н. А.
Published: (2010)

Электродуговые испарители металлов для нанесения покрытий на внутренние поверхности длинномерных деталей; Справочник. Инженерный журнал; № 7
by: Надтока В. Н.
Published: (2004)

Изучение особенностей формирования покрытий из TIB2 на металлической основе при газотермическом напылении; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
by: Шнайдт Е. И.
Published: (2009)

Особенности структуры покрытий системы Al-Ni, полученных воздушно-плазменным напылением; Современные технологии и материалы новых поколений
by: Рубцова О. А.
Published: (2017)

Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации и осаждения покрытий; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Нуржанов Е. Ж.
Published: (2011)

Влияние предварительного легирования подложки на свойства вакуумно-дуговых нитридных покрытий; Известия вузов. Физика; Т. 59, № 7, ч.2
by: Ильина А. С. Александра Сергеевна
Published: (2016)