Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
| Ente Autore: | |
|---|---|
| Altri autori: | , , , |
| Riassunto: | Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких пленок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуумно-дуговой плазмы. Подробно описана установка «Радуга-Спектр» кафедры общей физики ФТИ НИ ТПУ, в которой совмещены указанные методы и, кроме того, снабженная генератором газовой плазмы и электронной пушкой.Предназначено для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по специальности 01.04.07 «Физика конденсированного состояния вещества». |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
Томск, Изд-во ТПУ, 2014
|
| Edizione: | 2-е изд. |
| Soggetti: | |
| Natura: | MixedMaterials Libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=285339 |