|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
285339 |
| 005 |
20231101235802.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\309576
|
| 090 |
|
|
|a 285339
|
| 100 |
|
|
|a 20150224d2014 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей
|e учебное пособие
|f Н. Н. Никитенков [и др.]
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|
| 205 |
|
|
|a 2-е изд.
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|c Изд-во ТПУ
|d 2014
|
| 215 |
|
|
|a 68 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 67.
|
| 330 |
|
|
|a Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких пленок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуумно-дуговой плазмы. Подробно описана установка «Радуга-Спектр» кафедры общей физики ФТИ НИ ТПУ, в которой совмещены указанные методы и, кроме того, снабженная генератором газовой плазмы и электронной пушкой.Предназначено для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по специальности 01.04.07 «Физика конденсированного состояния вещества».
|
| 452 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\321919
|t Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей
|o учебное пособие
|f Н. Н. Никитенков [и др.]
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра общей физики (ОФ)
|e 2-е изд.
|c Томск
|n Изд-во ТПУ
|d 2014
|
| 606 |
1 |
|
|a Плазменное напыление
|x Физико-химические процессы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\48962
|9 67777
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a формирование
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменные методы
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a модификация
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумно-дуговые испарения
|
| 610 |
1 |
|
|a напыление
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a тлеющий разряд
|
| 610 |
1 |
|
|a газоразрядная плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a установка радуга-спектр
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 621.793.74(075.8)
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Никитенков
|b Н. Н.
|c российский физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1953-
|g Николай Николаевич
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25364
|
| 701 |
|
1 |
|a Шулепов
|b И. А.
|c физик
|c инженер-проектировщик Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1954-
|g Иван Анисимович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28219
|
| 701 |
|
1 |
|a Дектярев
|b С. В.
|c физик
|c инженер-проектировщик Томского политехнического университета
|f 1957-
|g Сергей Валентинович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\33803
|
| 701 |
|
1 |
|a Степанов
|b И. Б.
|c физик
|c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1968-
|g Игорь Борисович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26466
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|c (2009- )
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150224
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150703
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
