Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие

Bibliographic Details
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Шулепов И. А. Иван Анисимович, Дектярев С. В. Сергей Валентинович, Степанов И. Б. Игорь Борисович
Summary:Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких пленок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплан­тации из металлической вакуумно-дуговой плазмы. Подробно описана уста­новка «Радуга-Спектр» кафедры общей физики ФТИ НИ ТПУ, в которой со­вмещены указанные методы и, кроме того, снабженная генератором газовой плазмы и электронной пушкой.Предназначено для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по специальности 01.04.07 «Физика конденсированного состояния вещества».
Language:Russian
Published: Томск, Изд-во ТПУ, 2014
Edition:2-е изд.
Subjects:
Плазменное напыление > Физико-химические процессы
покрытия
формирование
ионно-плазменные методы
твердые тела
поверхности
модификация
вакуумно-дуговые испарения
напыление
пленки
ионная имплантация
тлеющий разряд
газоразрядная плазма
установка радуга-спектр
учебные пособия
труды учёных ТПУ
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=285339
Description
Physical Description:68 с. ил.
Summary:Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких пленок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплан­тации из металлической вакуумно-дуговой плазмы. Подробно описана уста­новка «Радуга-Спектр» кафедры общей физики ФТИ НИ ТПУ, в которой со­вмещены указанные методы и, кроме того, снабженная генератором газовой плазмы и электронной пушкой.Предназначено для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по специальности 01.04.07 «Физика конденсированного состояния вещества».

Similar Items