|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
284606 |
| 005 |
20231101235718.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\308785
|
| 090 |
|
|
|a 284606
|
| 100 |
|
|
|a 20150217d1982 km y0engy50 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a DE
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Plasma science and technology
|f H. V. Boenig
|
| 210 |
|
|
|a Munchen
|c Carl Hanser Verlag
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 300 p.
|c il.
|
| 320 |
|
|
|a Index: p. 297-299
|
| 320 |
|
|
|a bibliography at the end of chapters
|
| 606 |
1 |
|
|a Плазма
|x Физика
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\48885
|9 67703
|
| 610 |
1 |
|
|a компоненты
|
| 610 |
1 |
|
|a виды
|
| 610 |
1 |
|
|a физические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a реакции
|
| 610 |
1 |
|
|a синтез
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменная полимеризация
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a английский язык
|
| 675 |
|
|
|a 533.9
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Boenig
|b H. V.
|g Herman V.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150217
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20171023
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
