Элементная база микро- и наноэлектроники: физика и технология: Межвузовский сборник

Бібліографічні деталі
Співавтор:	Московский Государственный Институт Электронной Техники (Технический Университет)
Інші автори:	Чаплыгин Ю. А
Мова:	Російська
Опубліковано:	Москва, [Б. и.], 1994
Предмети:	электроника наноэлектроника микроэлектроника элеметная база сложные структуры тонкие пленки физика технология полупроводники диэлектрики
Формат:	Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=28456

Схожі ресурси