|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
28456 |
| 005 |
20231030202836.0 |
| 010 |
|
|
|a 5725600149
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\28712
|
| 035 |
|
|
|a BOOK00028787
|
| 090 |
|
|
|a 28456
|
| 100 |
|
|
|a 20011209d1994 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a 000|y
|
| 200 |
1 |
|
|a Элементная база микро- и наноэлектроники: физика и технология
|e Межвузовский сборник
|f МГИЭТ; Под ред. Ю. А. Чаплыгина
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c [Б. и.]
|d 1994
|
| 215 |
|
|
|a 180 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце статей
|
| 610 |
1 |
|
|a электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a наноэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a элеметная база
|
| 610 |
1 |
|
|a сложные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрики
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Чаплыгин
|b Ю. А
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский Государственный Институт Электронной Техники (Технический Университет)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\2285
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 20011209
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20070924
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
