|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
284547 |
| 005 |
20231101235715.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\308717
|
| 090 |
|
|
|a 284547
|
| 100 |
|
|
|a 20150216d1984 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a UZ
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физические основы образования глубоких уровней в кремнии
|f С. Зайнабидинов
|g Ташкентский государственный университет
|
| 210 |
|
|
|a Ташкент
|c Фан
|d 1984
|
| 215 |
|
|
|a 159 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 149-158
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводники
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50596
|9 69206
|
| 610 |
1 |
|
|a физические основы
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a кислород
|
| 610 |
1 |
|
|a углерод
|
| 610 |
1 |
|
|a термические деформации
|
| 610 |
1 |
|
|a радиационные дефекты
|
| 610 |
1 |
|
|a глубокие уровни
|
| 610 |
1 |
|
|a образование
|
| 610 |
1 |
|
|a термообработка
|
| 610 |
1 |
|
|a примесные атомы
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Зайнабидинов
|b С.
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Ташкентский государственный университет
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\10690
|9 24904
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150216
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160912
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
